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  • 石墨舟装片房和石墨舟装载房是做什么用的?
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    石墨舟装片房:用于太阳能行业与PECVD承载车配套、装取硅片、配制中效及高效过滤器,确保吹出的空气达到净化要求。


  石墨舟工作原理:
  空气通过高效过滤后,阻尼层均压,使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区,从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度,操作人员在洁净的环境中往石墨舟上装硅片。


  石墨舟主要特点:
  1、能准确的使石墨舟承载装片车定位;
  2、采用不锈钢制造,整机结构坚固可靠;
  3、采用GK系列高效空气过滤器3只;
  4、PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;
  5、净化风机噪音小于50dB。
  6、保证了工作区内达到工艺要求的洁净度100级。


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